Table 1 Resistance changes of piezoresistors with axial acceleration
From: Fabrication and characterization of monolithic piezoresistive high-g three-axis accelerometer
X-axis | Y-axis | Resistors of Z-axis acceleration measurement circuit | ||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
R1 | R3 | R5 | R7 | R9 | R11 | R13 | R15 | R2 | R4 | R6 | R8 | R10 | R12 | R14 | R16 | |
Ax | − − − | − − − | − − − | − − − | − | + | + | − | +++ | +++ | +++ | +++ | + | − | − | + |
Ay | + | − | − | + | +++ | +++ | +++ | +++ | − | + | + | − | − − − | − − − | − − − | − − − |
Az | ++ | ++ | − − | − − | ++ | ++ | − − | − − | − − | − − | ++ | ++ | − − | − − | ++ | ++ |